Тел.: (495) 781-4969, 344-6707, E-mail: eliks.mail@eliks.ru
ТОЧНОСТЬ ДЛЯ ПРОФЕССИОНАЛОВ
Читать журнал
"КИПиС"
Корзина 0 позиций
0,00 руб.
Поиск
Бренды
Информация
Журнал "Контрольно-измерительные приборы и системы"
Авторизация
Логин:
Пароль:
Забыли свой пароль?
Зарегистрироваться

C-V метрия (снятие вольт-фарадных характеристик)

Задача:

Определение электрофизических параметров диэлектрических и полупроводниковых слоев в ходе научных исследований или контроля качества технологических процессов.

Подзадачи:

  • МОП- конденсаторы и МОП-транзисторы:
    • определение толщины оксида,
    • уровня легирования полупроводника под окислом,
    • толщины обедненной области,
    • эффективный заряд в оксиде,
    • напряжение плоских зон,
    • пороговое напряжение,
    • длина Дебая (проникновения эл. поля в полупроводник) и др.
    • Время жизни носителей заряда
    • Подвижность ионов (при температурных испытаниях)
  • p-n переходы и диоды Шоттки:

измерение емкости перехода как функции приложенного напряжения

  • Фотоячейки:

Измерения прямо и обратно смещенных ячеек и экстракция параметров:- максимальная мощность, максимальный ток, ток КЗ, и др.

  • ПЗС-приборы (Приборы с зарядовой связью): С-V измерения приборов с плавающим затвором

Решение:

Система измерения параметров полупроводников Keithley 4200A-SCS с опцией измерения C-V характеристик 4210-CVU.

  • частотный диапазон от 1 кГц до 10 МГц
  • внутренний источник постоянного смещения ±30 В (60 В диф.)

Опция расширения для проведения мощной CV-метрии 4200-CVU-PWR
  • Диапазоны измерения от 1 пФ до 1 нФ
  • Тестовый сигнал от 100 кГц до 10 МГц (10 мВ...100 мВ)
  • Источник постоянного смещения ±200 В (400 В диф.) с разрешением 5 мВ
  • Измеряемые параметры: Cp-Gp, DCV, временные метки
  • Поддержка до 4-х SMU

Квазистатический способ CV-метрии


  • Требуется два модуля 4200-SMU или 4210-SMU с опцией 4200-PA
  • Поддержка постоянного смещения ±200 В

Ультранизкочастотная CV-метрия

  • Требуется два модуля 4200-SMU или 4210-SMU с опцией 4200-PA (частота 10 мГц...10 Гц)
  • Диапазон измерения от 1 пФ до 10 нФ
  • Экстракция:Cp-Gp, Cp-D, Cs-Rs, Cs-D, R-jX, Z-Theta, DCV, частота, временные метки

Измеретель C-V характеристик Keithley 4200-SCS с опцией CVU
Информация по теме:


Назад в раздел
Получить измерительные задачи по RSSПолучить измерительные задачи по RSS
Мы используем файлы 'cookie', чтобы обеспечить максимальное удобство пользователям.